西安交通大学研究生课程简介
课程编码： 052118
课程名称： （中） 薄膜物性
课程名称： （英）Physical Properties of Thin Films
学 分 数： 2
课内总学时数： 36
上机学时数：
课程内容简介：
薄膜是一门正在发展中的学科，由于尺寸小，其限域效应和夹持效应使得其具有一些独特的物理性质，对器件微型化和集成化有很重要的促进作用，是国际电子与信息科学领域的新兴学术方向与热点，也是电子类各专业必须掌握的重要的专业基础知识和技能之一。薄膜应用极广，在电子、航空航天、轻工、光学、力学、轻工、医学等领域都有应用，如：在医学领域，薄膜技术制成的微型机器人可进入人体血管内清除血管壁上附着物。在电子行业，广泛使用的有薄膜IC、发光薄膜、光电池、薄膜光显示器件、微型马达、各种敏感器件、超导薄膜等。
本课程的设立，注重固体电子学、物理学、材料科学等学科的交叉，与科研前沿密切结合，课堂采用多媒体授课与讨论并重的方法进行学习。首先介绍几种常用的薄膜制备技术，重点介绍真空蒸发法、各种溅射法镀膜以及脉冲激光辅助沉积等物理镀膜工艺，同时对MOCVD、ALD以及Sol-Gel等化学制备技术，了解各种薄膜形成的过程，理解薄膜材料的一些基本物理特性。其次，介绍薄膜微观结构分析及薄膜的电学、磁学、光学和力学等物理性能的分析和测试方法，对性能测试中一些常见的测试误差进行分析和讨论。最后，简单介绍几种薄膜集成技术的发展与应用，如薄膜太阳能电池、铁电MEMS技术、集成铁电学、压电器件等。
先修课: 半导体器件物理、电介质物理、固体物理
参考书目：
1. 田民波，薄膜技术与薄膜材料，清华大学出版社，2006
2. 肖定全, 薄膜物理与器件, 国防工业出版社2011
3. 杨邦朝，薄膜物理与技术, 电子科技大学出版社 1994
4. 王力衡，薄膜技术, 西安交通大学出版社 1991
