西安交通大学研究生课程简介
课程编码： 052057
课程名称：（中）微纳加工物理
课程名称：（英）·Physics of Micro- and Nano-Fabrication
学分数：2
课内总学时数：36
课程内容简介：
微细与纳米加工的内容与意义；微细图形技术：光学光刻，抗蚀胶，极紫外和X射线光刻，电子束光刻；气体放电与等离子体：气体放电及等离子体，等离子体的化学性质；蚀刻：湿法蚀刻，等离子体蚀刻，离子束蚀刻，反应离子蚀刻；薄膜淀积：蒸发，溅射，化学汽相淀积，等离子体增强化学汽相淀积；外延生长技术；外延生长过程，金属有机物化学汽相外延，分子束外延；特殊工艺过程：氧化，扩散及扩散掺杂，离子注入；微细结构的微分析和表征技术：光学与激光方法，电子显微镜与电子束微分析，扫描探针显微镜
先修课（最低要求）
普通物理（电学、光学、原子物理），固体物理，物理电子学
参考书目：
1．Brodie & J. J. Muray, The Physics of Micro/Nano-Fabrication, Plenum Press, New York，1992
2．S. A. Campbell: 微电子制造科学原理与工程技术, 电子工业出版社，2003
3．蒋欣荣，微细加工技术, 电子工业出版社（1990）
4．范伟政、马炳和，微机械与微细加工技术，西北工业大学出版社，2000
5．王立衡、黄运添、郑海涛，薄膜技术，清华大学出版社，1991
执笔人：唐天同 审定人：冯祖仁
